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Journal of micromechanics and microengineering, 1992-09, Vol.2 (3), p.113-116
1992
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Journal of micromechanics and microengineering, 1991-09, Vol.1 (3), p.145-151
1991
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1995 IEEE International SOI Conference Proceedings, 1995, p.152-153
1995
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Journal of the Electrochemical Society, 1989-11, Vol.136 (11), p.3547-3548
1989
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Journal of electronic materials, 1991-03, Vol.20 (3), p.267-277
1991
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