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Applied physics letters, 2003-08, Vol.83 (7), p.1444-1446
2003
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Plasma sources science & technology, 2005-08, Vol.14 (3), p.599-609
2005
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Journal of vacuum science and technology. B, Nanotechnology & microelectronics, 2011-01, Vol.29 (1)
2011
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Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 2024-12, Vol.42 (6)
2024
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Microelectronic engineering, 2011-06, Vol.88 (6), p.861-866
2011
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Microelectronic engineering, 2009-04, Vol.86 (4), p.1013-1016
2009
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