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Doping Strategies for FinFETs
Materials science forum, 2008-03, Vol.573-574, p.333-338
2008
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 2006-05, Vol.24 (3), p.1131-1138
2006
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Doping of Sub-50nm SOI Layers
MRS proceedings, 2008, Vol.1070, Article 1070-E04-06
2008
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Meeting abstracts (Electrochemical Society), 2006-02, Vol.MA2005-01 (14), p.614-614
2006
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2006 International Workshop on Junction Technology, 2006, p.78-83
2006
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