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Chemical communications (Cambridge, England), 2011-09, Vol.47 (33), p.9363-9365
2011
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Applied physics letters, 2006-05, Vol.88 (18), p.182908-182908-3
2006
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Sécurité globale, 2013-11, Vol.N° 24 (2), p.59-68
2013
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Precursor chemistry for ULK CVD
Microelectronic engineering, 2005-12, Vol.82 (3), p.333-340
2005
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Revue Cyber & Conformité, 2022-11, Vol.N° 6/7 (3), p.38-39
2022
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Materials science in semiconductor processing, 2004, Vol.7 (4), p.277-282
2004
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