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2010
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Journal of Micro/Nanopatterning, Materials, and Metrology, 2021-04, Vol.20 (2)
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Journal of Micro/Nanopatterning, Materials, and Metrology, 2024-09, Vol.23 (4)
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Microelectronic engineering, 2014-07, Vol.123, p.175-179
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Journal of micro/nanolithography, MEMS, and MOEMS, 2012-07, Vol.11 (3), p.31303
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Radiation physics and chemistry (Oxford, England : 1993), 2011-02, Vol.80 (2), p.236-241
2011
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Journal of Photopolymer Science and Technology, 2011/06/21, Vol.24(1), pp.25-32
2011
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Journal of Photopolymer Science and Technology, 2013/12/28, Vol.26(6), pp.779-791
2013
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Journal of photopolymer science and technology, 2013-09, Vol.26 (5), p.587
2013
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Journal of Telecommunications and Information Technology, 2005-03 (1), p.3-6
2005
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