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Sensors and actuators. A. Physical., 2021-03, Vol.319, p.112527, Article 112527
2021
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Applied Mechanics and Materials, 2014-01, Vol.488-489 (Materials Science, Civil Engineering and Architecture Science, Mechanical Engineering and Manufacturing Technology), p.817-820
2014
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2019 IEEE 32nd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2019, p.837-840
2019
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