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Thermal stability of anti-reflective and protective a-C:H:SiOx coating for infrared optics
Applied surface science, 2020-04, Vol.510, p.145433, Article 145433
2020
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Modifying the surface of a titanium alloy with an electron beam and a-C:H:SiOx coating deposition to reduce hemolysis in cardiac assist devices
Surface & coatings technology, 2020-01, Vol.381, p.125113, Article 125113
2020
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AISI 316L stainless steel modification by surface alloy and a-C:H:SiOx coating synthesis
Vacuum, 2022-10, Vol.204, p.111369, Article 111369
2022
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Influence of deposition conditions on mechanical properties of a-C:H:SiOx films prepared by plasma-assisted chemical vapor deposition method
Surface & coatings technology, 2018-09, Vol.349, p.547-555
2018
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Thermal stability of a-C:H:SiOx thin films in hydrogen atmosphere
Thin solid films, 2019-11, Vol.690, p.137531, Article 137531
2019
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Preparation of nickel-containing conductive amorphous carbon films by magnetron sputtering with negative high-voltage pulsed substrate bias
Thin solid films, 2018-03, Vol.650, p.37-43
2018
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Structure, mechanical and tribological properties of Ti-doped and Cr-doped a-C:H:SiOx coatings
Vacuum, 2024-01, Vol.219, p.112706, Article 112706
2024
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Deposition of Cu-films by a planar magnetron sputtering system at ultra-low operating pressure
Surface & coatings technology, 2020-05, Vol.389, p.125600, Article 125600
2020
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Kinetics of plasma-assisted chemical vapor deposition combined with inductively excited RF discharge and properties of a-C:H:SiOx coatings
Vacuum, 2022-05, Vol.199, p.110982, Article 110982
2022
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Properties of ultra-thin Cu films grown by high power pulsed magnetron sputtering
Thin solid films, 2017-06, Vol.631, p.72-79
2017
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Effect of substrate bias and substrate/plasma generator distance on properties of a-C:H:SiOx films synthesized by PACVD
Thin solid films, 2019-01, Vol.669, p.253-261
2019
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On the effect of ceramic target composition on coatings deposited by electron-beam evaporation at forevacuum pressure
Ceramics international, 2020-12, Vol.46 (17), p.27641-27646
2020
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ENERGY FLUX AT THE SUBSTRATE DURING DUAL MAGNETRON SPUTTERING OF TiAIN COATING
Russian physics journal, 2023-03, Vol.65 (11), p.1825
2023
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Effect of deposition conditions on optical properties of a-C:H:SiOx films prepared by plasma-assisted chemical vapor deposition method
Optik (Stuttgart), 2018-11, Vol.172, p.107-116
2018
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Plasma-Chemical Deposition of Anti-Reflection and Protective Coating for Infrared Optics
Russian physics journal, 2020-03, Vol.62 (11), p.2112-2120
2020
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Plasma Chemical Synthesis of Amorphous Hydrocarbon Films Alloyed by Silicon, Oxygen and Nitrogen
Russian physics journal, 2019-11, Vol.62 (7), p.1199-1206
2019
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Surface alloying of stainless steel 316 with copper using pulsed electron-beam melting of film–substrate system
Surface & coatings technology, 2006-06, Vol.200 (22), p.6378-6383
2006
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a-C:H films deposited in the plasma of barrier and surface discharges at atmospheric pressure
Surface & coatings technology, 1997-11, Vol.96 (1), p.123-128
1997
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Deposition of silicon–carbon coatings from the plasma of a non-self-sustained arc discharge with a heated cathode
Technical physics, 2016-05, Vol.61 (5), p.690-695
2016
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Properties of Molybdenum Films Produced by High-Power Impulse Magnetron Sputtering
Russian physics journal, 2017-12, Vol.60 (8), p.1336-1340
2017
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Natural Oxidation of Ultra-Thin Copper Films
Russian physics journal, 2018, Vol.60 (9), p.1559-1564
2018
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Deposition of ultrahard Ti–Si–N coatings by pulsed high-current reactive magnetron sputtering
Technical physics, 2016-02, Vol.61 (2), p.215-220
2016
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Properties of Nanocomposite Nickel-Carbon Films Deposited by Magnetron Sputtering
Russian physics journal, 2017-12, Vol.60 (8), p.1285-1290
2017
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Surface characterization and biological assessment of corrosion-resistant a-C:H:SiOx PACVD coating for Ti-6Al-4V alloy
Materials Science & Engineering C, 2021-04, Vol.123, p.112002-112002, Article 112002
2021
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Modification of the Steel Surface Treated by a Volume Discharge Plasma in Nitrogen at Atmospheric Pressure
Russian physics journal, 2016-03, Vol.58 (11), p.1557-1562
2016
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