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The Journal of chemical physics, 2003-04, Vol.118 (14), p.6211-6221
2003
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Denki Gakkai ronbunshi. A, Kiso zairyÅ, 1987, Vol.107 (7), p.323-330
1987
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Review of scientific instruments, 1996-06, Vol.67 (6), p.2139-2141
1996
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High resolution CD-SEM system
Proceedings Eighth Asian Test Symposium (ATS'99), 1999, p.383-388
1999
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