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Investigation of the Process of Plasma Through Etching of HkMG Stack of Nanotransistor with a 32-nm Critical Dimension
Russian microelectronics, 2018-09, Vol.47 (5), p.323-331
2018
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Reconstructing the energy spectra of backscattered electrons with allowance for the spectrometer’s response function
Bulletin of the Russian Academy of Sciences. Physics, 2012-09, Vol.76 (9), p.959-964
2012
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Determination of thickness of ultrathin surface films in nanostructures from the energy spectra of reflected electrons
Technical physics, 2015-10, Vol.60 (10), p.1515-1518
2015
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Anisotropic trench etching of silicon with high aspect ratio and aperture of 30–50 nm in a two-stage plasma-chemical cyclic process
Russian microelectronics, 2015, Vol.44 (2), p.79-88
2015
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Updating of the toroidal electron spectrometer intended for a scanning electron microscope and its new applications in diagnostics of micro- and nanoelectronic structures
Technical physics, 2013-03, Vol.58 (3), p.447-454
2013
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A method and devices of electron microtomography in scanning electron microscopy
Instruments and experimental techniques (New York), 2010-07, Vol.53 (4), p.581-590
2010
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Nondestructive contactless electron-beam diagnostics of microelectronic device structures
Russian microelectronics, 2010-09, Vol.39 (5), p.303-312
2010
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Measurements of linear dimensions of silicon nanorelief elements with a near-rectangular profile by defocusing the electron probe of a scanning electron microscope
Russian microelectronics, 2010-11, Vol.39 (6), p.394-400
2010
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On the DLTS Analysis of Deep Trap Profiles in Semiconductors
Physica status solidi. A, Applied research, 1993-03, Vol.136 (1), p.145-151
1993
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On the DLTS Analysis of Deep Trap Profiles in Semiconductors
Physica status solidi. A, Applied research, 1993-03, Vol.136 (1), p.145-151
1993
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On the DLTS analysis of deep trap profiles in semiconductors
Physica status solidi. A, Applied research, 1993, Vol.136 (1), p.145-151
1993
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In memory of Matvei I. Elinson (1918-2000)
Russian microelectronics, 2000-07, Vol.29 (4), p.215-216
2000
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