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JPN J APPL PHYS PART 1 REGUL PAP SHORT NOTE REV PAP, 1993, Vol.32 (12B), p.6012-6017
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 1996-11, Vol.14 (6), p.3813-3820
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JOURNAL OF THE ILLUMINATING ENGINEERING INSTITUTE OF JAPAN, 1996/03/31, Vol.80(Appendix), pp.81-81
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照明学会誌, 1996/03/31, Vol.80(Appendix), pp.81-81
1996
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