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2014
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Sensors (Basel, Switzerland), 2015-11, Vol.15 (11), p.28732-28741
2015
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2010
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2009
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Japanese Journal of Applied Physics, 2010-06, Vol.49 (6), p.06GN16-06GN16-6
2010
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Japanese Journal of Applied Physics, 2008-09, Vol.47 (9R), p.7372
2008
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Japanese Journal of Applied Physics, 2010-06, Vol.49 (6), p.06GN10-06GN10-6
2010
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Japanese Journal of Applied Physics, 2009-06, Vol.48 (6R), p.66505
2009
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Sensors and actuators. A. Physical., 2011, Vol.165 (1), p.8-15
2011
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Journal of micromechanics and microengineering, 2012-02, Vol.22 (2), p.025002-10
2012
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Journal of micromechanics and microengineering, 2011-07, Vol.21 (7), p.075015
2011
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Microelectronic engineering, 2013-11, Vol.111, p.154-159
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Microelectronic engineering, 2013-11, Vol.111, p.105-109
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2007 IEEE Sensors, 2007, p.193-196
2007
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Microelectronic engineering, 2013-11, Vol.111, p.105-109
2013
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Microelectronic engineering, 2012-09, Vol.97, p.259-264
2012
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Journal of micromechanics and microengineering, 2012-04, Vol.22 (4), p.45007-9
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Micro and nano systems letters, 2015-02, Vol.3 (1), p.1-1, Article 1
2015
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Japanese Journal of Applied Physics, 2009-06, Vol.48 (6S), p.6
2009
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The transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers, 2014-04, Vol.63 (4), p.495-501
2014
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Procedia engineering, 2011, Vol.25, p.567-570
2011
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2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 2011, p.565-568
2011
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Procedia engineering, 2011, Vol.25, p.908-911
2011
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Microelectronic engineering, 2013, Vol.111, p.154-159
2013
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International journal on smart sensing and intelligent systems, 2008-12, Vol.1 (4), p.940-954
2008
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