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Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 2015-11, Vol.33 (6)
2015
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 2008-11, Vol.26 (6), p.1926-1932
2008
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Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 2017-01, Vol.35 (1)
2017
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Journal of physics. D, Applied physics, 2014-08, Vol.47 (32), p.1-4
2014
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Journal of physics. D, Applied physics, 2013-10, Vol.46 (39), p.395203-1-7
2013
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Japanese Journal of Applied Physics, 1995, Vol.34 (4B), p.2107-2113
1995
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2022 China Semiconductor Technology International Conference (CSTIC), 2022, p.1-3
2022
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