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2011
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Applied physics letters, 2012-02, Vol.100 (6), p.061111-061111-4
2012
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Plasma sources science & technology, 2015-05, Vol.24 (3), p.34001-18
2015
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Journal of applied physics, 2013-01, Vol.113 (2)
2013
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Journal of physics. Conference series, 2016-08, Vol.737 (1), p.12043
2016
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Plasma sources science & technology, 2007-05, Vol.16 (2), p.273-280
2007
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Physica status solidi. A, Applications and materials science, 2008-05, Vol.205 (5), p.1070-1073
2008
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IOP conference series. Materials Science and Engineering, 2016-11, Vol.155 (1), p.12042
2016
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IOP conference series. Materials Science and Engineering, 2016-04, Vol.122 (1), p.12034-12043
2016
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Journal of applied physics, 2017-08, Vol.122 (6)
2017
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Physica status solidi. A, Applications and materials science, 2007-06, Vol.204 (6), p.2098-2102
2007
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Strength of materials, 2012, Vol.44 (1), p.108-113
2012
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Applied physics letters, 2015-06, Vol.106 (22)
2015
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Plasma sources science & technology, 2011-06, Vol.20 (3), p.34008
2011
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Physica status solidi. A, Applications and materials science, 2008-11, Vol.205 (11), p.2560-2565
2008
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Physica status solidi. C, 2008-05, Vol.5 (6), p.1829-1831
2008
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Plasma sources science & technology, 2011-06, Vol.20, p.034008
2011
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Instruments and experimental techniques (New York), 2016-09, Vol.59 (5), p.627-649
2016
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Russian microelectronics, 2017-05, Vol.46 (3), p.171-179
2017
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Applied physics letters, 2005-01, Vol.86 (3)
2005
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Russian microelectronics, 2019-11, Vol.48 (6), p.415-421
2019
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High energy chemistry, 2008-05, Vol.42 (3), p.235-239
2008
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Russian microelectronics, 2016-12, Vol.45 (7), p.474-477
2016
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High energy chemistry, 2010-05, Vol.44 (3), p.244-248
2010
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Physica status solidi. PSS-RRL. Rapid research letters, 2010-02, Vol.4 (1-2), p.49-51
2010
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