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Journal of applied physics, 2020-11, Vol.128 (19)
2020
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Micromachines (Basel), 2023-02, Vol.14 (3), p.557
2023
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Journal of microelectromechanical systems, 2023-06, Vol.32 (3), p.1-8
2023
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IEEE transactions on components, packaging, and manufacturing technology (2011), 2019-04, Vol.9 (4), p.642-648
2019
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Optics letters, 2018-10, Vol.43 (20), p.4859-4862
2018
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Micromachines (Basel), 2022-11, Vol.13 (12), p.2044
2022
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Micromachines (Basel), 2022-11, Vol.13 (12)
2022
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Demonstration of Thin Film Bulk Acoustic Resonator Based on AlN/AlScN Composite Film with a Feasible
2022
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2022 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS), 2022, p.1-4
2022
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