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Journal of micro/nanolithography, MEMS, and MOEMS, 2004-07, Vol.3 (3), p.486
2004
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Journal of micro/nanolithography, MEMS, and MOEMS, 2002-07, Vol.1 (2), p.159
2002
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Journal of micro/nanolithography, MEMS, and MOEMS, 2004-07, Vol.3 (3), p.493
2004
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