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Extreme ultraviolet binary phase gratings: Fabrication and application to diffractive optics
Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 2006-07, Vol.24 (4), p.1136-1140
2006
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Dual-domain point diffraction interferometer
Applied Optics, 1999-06, Vol.38 (16), p.3523-3533
1999
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Field averaging micro-lenses that synthesize highly uniform illumination in coherent EUV optical systems
2007 International Nano-Optoelectronics Workshop, 2007, p.202-203
2007
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Euv system optimization and advanced lithography research at Lawrence Berkeley National Laboratory
Digest of Papers. 2004 International Microprocesses and Nanotechnology Conference, 2004, 2004, p.14-15
2004
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