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Materials chemistry and physics, 2013-11, Vol.142 (2-3), p.608-613
2013
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Journal of vacuum science and technology. B, Nanotechnology & microelectronics, 2015-05, Vol.33 (3)
2015
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Effect of (HfO sub(2)) sub()
Applied physics. A, Materials science & processing, 2016-03, Vol.122 (3), p.1-5
2016
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Journal of nanoscience and nanotechnology, 2013-09, Vol.13 (9), p.6413-6415
2013
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 2013-07, Vol.31 (4)
2013
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Applied physics. A, Materials science & processing, 2012-09, Vol.108 (3), p.679-684
2012
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Journal of vacuum science and technology. B, Nanotechnology & microelectronics, 2010-11, Vol.28 (6), p.1143-1147
2010
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2011 IEEE International Interconnect Technology Conference, 2011, p.1-3
2011
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