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Journal of electronic materials, 2018-07, Vol.47 (7), p.3692-3700
2018
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 2013-03, Vol.31 (2)
2013
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Computational materials science, 2020-08, Vol.181 (C), p.109726, Article 109726
2020
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Chemical engineering journal (Lausanne, Switzerland : 1996), 2022-04, Vol.433 (N/A), p.134445, Article 134445
2022
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