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2009
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2008
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Vacuum, 2009, Vol.84 (1), p.231-234
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Vacuum, 2009, Vol.84 (1), p.235-237
2009
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Solid-state electronics, 1998-03, Vol.42 (2), p.205-210
1998
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Vacuum, 1996-10, Vol.47 (10), p.1215-1217
1996
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Sensors and actuators. A, Physical, 2000-08, Vol.85 (1), p.365-370
2000
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Journal of micromechanics and microengineering, 2002-07, Vol.12 (4), p.465-469, Article 320
2002
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