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Journal of materials science, 2023-03, Vol.58 (12), p.5258-5268
2023
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Asian journal of technology innovation, 2023-09, Vol.ahead-of-print (ahead-of-print), p.1-31
2023
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 2004-11, Vol.22 (6), p.3335-3338
2004
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