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2007 IEEE Workshop on Microelectronics and Electron Devices, 2007, p.49-50
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2007 Proceedings 57th Electronic Components and Technology Conference, 2007, p.1235-1238
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2005 IEEE Workshop on Microelectronics and Electron Devices, 2005. WMED '05, 2005, p.92-94
2005
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Interaction effects of slurry chemistry on chemical mechanical planarization of electroplated copper
2004
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