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Planar betavoltaic converter creation with plasma-immersion ion implantation process
IOP conference series. Materials Science and Engineering, 2016-04, Vol.122 (1), p.12029-12032, Article 012029
2016
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Plasma chemical silicon etching process
IOP conference series. Materials Science and Engineering, 2016-04, Vol.122 (1), p.12028-12031
2016
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