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Experimental and molecular pathology, 2004-02, Vol.76 (1), p.51-56
2004
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IEEE transactions on semiconductor manufacturing, 1994-05, Vol.7 (2), p.184-192
1994
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Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 1994-07, Vol.12 (4), p.1984-1991
1994
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 1994-07, Vol.12 (4), p.2860-2867
1994
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