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2010 IEEE Aerospace Conference, 2010, p.1-10
2010
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Journal of microelectromechanical systems, 2015-10, Vol.24 (5), p.1409-1414
2015
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2009 IEEE Aerospace conference, 2009, p.1-12
2009
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2009 IEEE Aerospace conference, 2009, p.1-16
2009
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 2003-01, Vol.21 (1), p.412-417
2003
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- Journal Of Microelectromechanical Systems
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- Journal Of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics And Nanometer Structures Processing, Measurement, And Phenomena
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