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(Invited) Catalytic Surface Reactions during Nucleation and Growth of Atomic Layer Deposition of Noble Metals: A Case Study for Platinum
ECS transactions, 2013, Vol.58 (10), p.183-193
2013
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(Invited) The Use of Plasmas for Isotropic Atomic Layer Etching
Meeting abstracts (Electrochemical Society), 2023-12, Vol.MA2023-02 (29), p.1464-1464
2023
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Remote Plasma and Thermal ALD of Platinum and Platinum Oxide Films
ECS transactions, 2009, Vol.16 (4), p.209-218
2009
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Open Access
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Catalytic Surface Reactions during Nucleation and Growth of Atomic Layer Deposition of Noble Metals: a Case Study for Platinum
Meeting abstracts (Electrochemical Society), 2013-10, Vol.MA2013-02 (24), p.1880-1880
2013
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Remote Plasma and Thermal ALD of Platinum and Platinum Oxide Films
Meeting abstracts (Electrochemical Society), 2008-08, Vol.MA2008-02 (24), p.1898-1898
2008
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