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Journal of physics. D, Applied physics, 2004-12, Vol.37 (23), p.3207-3212
2004
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Journal of micro/nanolithography, MEMS, and MOEMS, 2012-05, Vol.11 (2), p.21102
2012
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Journal of physics. D, Applied physics, 2004, Vol.37 (23), p.3207-3212
2004
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Particle Cleaning of EUV Reticles
Journal of adhesion science and technology, 2009-01, Vol.23 (12), p.1603-1622
2009
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Fuel (Guildford), 1997, Vol.76 (10), p.945-949
1997
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 2002-01, Vol.20 (1), p.316-320
2002
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Open Access
User producer interaction in context
Technological forecasting & social change, 2012-07, Vol.79 (6), p.1121-1134
2012
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Cancer cell, 2017-08, Vol.32 (2), p.204-220.e15
2017
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