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Japanese Journal of Applied Physics, 1997-09, Vol.36 (9A), p.5436-5443
1997
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Open Access
EUV - Breaking New Ground
Laser-Technik-Journal, 2009-07, Vol.6 (4), p.37-39
2009
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Laser-Technik-Journal, 2009-07, Vol.6 (4), p.37-39
2009
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2019 Electron Devices Technology and Manufacturing Conference (EDTM), 2019, p.475-477
2019
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2018 IEEE International Electron Devices Meeting (IEDM), 2018, p.11.6.1-11.6.4
2018
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2007 Digest of papers Microprocesses and Nanotechnology, 2007, p.28-29
2007
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EUV on Track for 2010 Launch
Semiconductor International, 2009-12, Vol.32 (13), p.37
2009
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Advanced Hybrid Information Processing, 2024, Vol.547, p.379-393
2024
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Advanced Hybrid Information Processing, 2024, Vol.547, p.321-336
2024
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Measurement : journal of the International Measurement Confederation, 2025-02, Vol.241, p.115584, Article 115584
2025
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