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Journal of physics. Conference series, 2021-03, Vol.1851 (1), p.12010
2021
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Journal of physics. Conference series, 2020-12, Vol.1697 (1), p.12128
2020
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Journal of physics. Conference series, 2018-03, Vol.993 (1), p.12024
2018
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Journal of physics. Conference series, 2018-03, Vol.993 (1), p.12009
2018
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Journal of physics. Conference series, 2018-06, Vol.1038 (1), p.12044
2018
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Semiconductors (Woodbury, N.Y.), 2016-09, Vol.50 (9), p.1254-1260
2016
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2017
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2019
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2007
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Journal of physics. Conference series, 2014, Vol.541 (1)
2014
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Surface & coatings technology, 2007-08, Vol.201 (21), p.8782-8788
2007
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Plasma chemistry and plasma processing, 2006-06, Vol.26 (3), p.205-209
2006
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