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Film Deposition in the Dielectric Barrier Discharge at Atmospheric Pressure in He/O2/HMDSO and He/N2O/HMDSO mixtures
Plasma processes and polymers, 2009-06, Vol.6 (S1), p.S514-S518
2009
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Analysis and Modeling of Gas-Phase Processes in a CHF3/Ar Discharge
Plasma processes and polymers, 2011-05, Vol.8 (5), p.409-423
2011
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Spectroscopic Diagnostics of DBD in Ar/Fluorocarbon Mixtures - Correlation between Plasma Parameters and Properties of Deposited Polymer Films
Plasma processes and polymers, 2005-03, Vol.2 (3), p.201-208
2005
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Diagnostics of SiCOH-Film-Deposition in the Dielectric Barrier Discharge at Atmospheric Pressure
Plasma processes and polymers, 2007-04, Vol.4 (S1), p.S435-S439
2007
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Film Deposition in the Dielectric Barrier Discharge at Atmospheric Pressure in He/O 2 /HMDSO and He/N 2 O/HMDSO mixtures
Plasma processes and polymers, 2009-06, Vol.6 (S1)
2009
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Film Deposition in the Dielectric Barrier Discharge at Atmospheric Pressure in He/O sub(2)/HMDSO and He/N sub(2)O/HMDSO mixtures
Plasma processes and polymers, 2009-06, Vol.6 (S1), p.S514-S518
2009
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Analysis and Modeling of Gas‐Phase Processes in a CHF 3 /Ar Discharge
Plasma processes and polymers, 2011-05, Vol.8 (5), p.409-423
2011
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Spectroscopic Diagnostics of DBD Remote Plasma in Ar/Fluorocarbon Mixtures-Correlation Between Plasma Parameters and Thin Film Properties
Plasma processes and polymers, 2007-04, Vol.4 (S1), p.S797-S800
2007
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Optical and Langmuir Probe Diagnostics in a Magnetized Hollow Cathode Arc
Plasma processes and polymers, 2009-06, Vol.6 (S1), p.S352-S356
2009
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Simulation of boron nitride sputtering process and its comparison with experimental data
IEEE transactions on plasma science, 1998-12, Vol.26 (6), p.1713-1717
1998
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