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Temperature characteristics of SAW resonators on Sc0.26Al0.74N/polycrystalline diamond heterostructures
Smart materials and structures, 2018-05, Vol.27 (7)
2018
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Synthesis of ScAlN thin films on Si (100) substrates at room temperature
Microsystem technologies : sensors, actuators, systems integration, 2018-06, Vol.24 (6), p.2711-2718
2018
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Temperature characteristics of SAW resonators on Sc 0.26 Al 0.74 N/polycrystalline diamond heterostructures
Smart materials and structures, 2018-07, Vol.27 (7), p.75015
2018
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Piezoelectric characterization of Sc0.26Al0.74N layers on Si (001) substrates
Materials research express, 2018-03, Vol.5 (3)
2018
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Piezoelectric characterization of Sc 0.26 Al 0.74 N layers on Si (001) substrates
Materials research express, 2018-03, Vol.5 (3), p.36407
2018
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