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Physical review. B, Condensed matter, 1997-11, Vol.56 (20), p.13314-13320
1997
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Advanced Semiconductor Manufacturing Conference and Workshop, 2003 IEEEI/SEMI, 2003, p.46
2003
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IEEE transactions on semiconductor manufacturing, 2004-11, Vol.17 (4), p.564-572
2004
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13th Annual IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference. Advancing the Science and Technology of Semiconductor Manufacturing. ASMC 2002 (Cat. No.02CH37259), 2002, p.119-124
2002
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