Sie befinden Sich nicht im Netzwerk der Universität Paderborn. Der Zugriff auf elektronische Ressourcen ist gegebenenfalls nur via VPN oder Shibboleth (DFN-AAI) möglich. mehr Informationen...
Sortiert nach
Open Access
    Datensatz exportieren als...
  • BibTeX
Oxygen (3P) atom recombination on a Pyrex surface in an O2 plasma
Plasma sources science & technology, 2019-05, Vol.28 (5)
2019
Link zum Volltext
Verfügbarkeit prüfen
Open Access
    Datensatz exportieren als...
  • BibTeX
Publisher's Note: “Dynamics of H atoms surface recombination in low-temperature plasma” [J. Appl. Phys. 132, 193301 (2022)]
Journal of applied physics, 2023-01, Vol.133 (2)
2023
Link zum Volltext
Verfügbarkeit prüfen
Open Access
    Datensatz exportieren als...
  • BibTeX
Dynamics of H atoms surface recombination in low-temperature plasma
Journal of applied physics, 2022-11, Vol.132 (19)
2022
Link zum Volltext
Verfügbarkeit prüfen
Open Access
    Datensatz exportieren als...
  • BibTeX
Characterization of carbon contamination under ion and hot atom bombardment in a tin-plasma extreme ultraviolet light source
Applied surface science, 2015-10, Vol.353, p.708-713
2015
Link zum Volltext
Verfügbarkeit prüfen
    Datensatz exportieren als...
  • BibTeX
Actinometry of O, N and F atoms
Journal of physics. D, Applied physics, 2017-02, Vol.50 (7), p.75202
2017
Link zum Volltext
Verfügbarkeit prüfen
    Datensatz exportieren als...
  • BibTeX
Effect of H atoms and UV wideband radiation on cured low-k OSG films
Journal of physics. D, Applied physics, 2022-06, Vol.55 (25), p.255206
2022
Link zum Volltext
Verfügbarkeit prüfen
    Datensatz exportieren als...
  • BibTeX
Damage to porous SiCOH low- k dielectrics by O, N and F atoms at lowered temperatures
Journal of physics. D, Applied physics, 2020-04, Vol.53 (17), p.175203
2020
Link zum Volltext
Verfügbarkeit prüfen
    Datensatz exportieren als...
  • BibTeX
Sputtering of amorphous Si by low-energy Ar+, Kr+, and Xe+ ions
Journal of applied physics, 2023-08, Vol.134 (6)
2023
Link zum Volltext
Verfügbarkeit prüfen
    Datensatz exportieren als...
  • BibTeX
Effect of an electron beam on a dual-frequency capacitive rf plasma: experiment and simulation
Plasma sources science & technology, 2022-09, Vol.31 (9), p.94001
2022
Link zum Volltext
Verfügbarkeit prüfen
Open Access
    Datensatz exportieren als...
  • BibTeX
Oxygen ( 3 P) atom recombination on a Pyrex surface in an O 2 plasma
Plasma sources science & technology, 2019-05, Vol.28 (5), p.55005
2019
Link zum Volltext
Verfügbarkeit prüfen
    Datensatz exportieren als...
  • BibTeX
Electron energy probability function in plasma controlled by high-energy run-away electrons
Plasma sources science & technology, 2020-02, Vol.29 (2), p.25026
2020
Link zum Volltext
Verfügbarkeit prüfen
    Datensatz exportieren als...
  • BibTeX
VUV radiation flux from argon DC magnetron plasma
Journal of physics. D, Applied physics, 2020-07, Vol.53 (29), p.295202
2020
Link zum Volltext
Verfügbarkeit prüfen
Open Access
    Datensatz exportieren als...
  • BibTeX
Influence of internal stress and layer thickness on the formation of hydrogen induced thin film blisters in Mo/Si multilayers
Journal of physics. D, Applied physics, 2018-02, Vol.51 (11), p.115302
2018
Link zum Volltext
Verfügbarkeit prüfen
    Datensatz exportieren als...
  • BibTeX
Experimental study of transition from electron beam to rf-power-controlled plasma in DFCCP in argon with additional ionization by an electron beam
Journal of physics. D, Applied physics, 2022-08, Vol.55 (31), p.315201
2022
Link zum Volltext
Verfügbarkeit prüfen
Open Access
    Datensatz exportieren als...
  • BibTeX
Determination of absolute O(3P) and O2(a1Δg) densities and kinetics in fully modulated O2 dc glow discharges from the O2(X3Σg−) afterglow recovery dynamics
Plasma sources science & technology, 2020-11, Vol.29 (11)
2020
Link zum Volltext
Verfügbarkeit prüfen
Open Access
    Datensatz exportieren als...
  • BibTeX
‘Virtual IED sensor’ for df rf CCP discharges
Plasma sources science & technology, 2021-07, Vol.30 (7), p.75020
2021
Link zum Volltext
Verfügbarkeit prüfen
Open Access
    Datensatz exportieren als...
  • BibTeX
Oxygen atom and ozone kinetics in the afterglow of a pulse-modulated DC discharge in pure O2: an experimental and modelling study of surface mechanisms and ozone vibrational kinetics
Plasma sources science & technology, 2023-09, Vol.32 (9)
2023
Link zum Volltext
Verfügbarkeit prüfen
    Datensatz exportieren als...
  • BibTeX
N 2 dissociation and kinetics of N( 4 S) atoms in nitrogen DC glow discharge
Journal of physics. D, Applied physics, 2018-09, Vol.51 (36), p.364002
2018
Link zum Volltext
Verfügbarkeit prüfen
    Datensatz exportieren als...
  • BibTeX
Surface recombination of oxygen atoms in O2 plasma at increased pressure: I. The recombination probability and phenomenological model of surface processes
Journal of physics. D, Applied physics, 2011-01, Vol.44 (1), p.015201-015201
2011
Link zum Volltext
Verfügbarkeit prüfen
    Datensatz exportieren als...
  • BibTeX
Plasma density determination from ion current to cylindrical Langmuir probe with validation on hairpin probe measurements
Plasma sources science & technology, 2023-04, Vol.32 (4), p.44001
2023
Link zum Volltext
Verfügbarkeit prüfen
Open Access
    Datensatz exportieren als...
  • BibTeX
Quenching of O2(b1Σg + ) by O(3P) atoms. Effect of gas temperature
Plasma sources science & technology, 2022-06, Vol.31 (6)
2022
Link zum Volltext
Verfügbarkeit prüfen
Open Access
    Datensatz exportieren als...
  • BibTeX
Exploring the electron density in plasma induced by EUV radiation: I. Experimental study in hydrogen
Journal of physics. D, Applied physics, 2016-03, Vol.49 (14), p.145203-145210
2016
Link zum Volltext
Verfügbarkeit prüfen
    Datensatz exportieren als...
  • BibTeX
Multifold study of volume plasma chemistry in Ar/CF4 and Ar/CHF3 CCP discharges
Plasma sources science & technology, 2017-06, Vol.26 (7)
2017
Link zum Volltext
Verfügbarkeit prüfen
    Datensatz exportieren als...
  • BibTeX
Surface recombination of oxygen atoms in O2 plasma at increased pressure: II. Vibrational temperature and surface production of ozone
Journal of physics. D, Applied physics, 2011-01, Vol.44 (1), p.015202-015202
2011
Link zum Volltext
Verfügbarkeit prüfen
    Datensatz exportieren als...
  • BibTeX
Low-k protection from F radicals and VUV photons using a multilayer pore grafting approach
Journal of physics. D, Applied physics, 2018-07, Vol.51 (32), p.325202
2018
Link zum Volltext
Verfügbarkeit prüfen
1 – 25 von 131
Suche als RSS-Feed
Suchergebnisse filtern
Filter anzeigen