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2009
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Optics letters, 2005-10, Vol.30 (20), p.2808
2005
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2005 IEEE LEOS Annual Meeting Conference Proceedings, 2005, p.874-875
2005
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2004
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2008
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Thin solid films, 2009-10, Vol.517 (23), p.6334-6336
2009
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Microelectronic engineering, 2008-08, Vol.85 (8), p.1762-1765
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2007
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Thin solid films, 2009-10, Vol.517 (23), p.6334-6336
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Thin solid films, 2009, Vol.517 (23), p.6334-6336
2009
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Microelectronic engineering, 2008, Vol.85 (8), p.1762-1765
2008
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2008
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2006
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Microengineering of Metals and Ceramics, 2005, p.421-447
2005
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 2009-02, Vol.27 (1), p.286-289
2009
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- Burkert, W.
- Majewski, A.
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- Stoll, P.
- Buchholz, F.
- Semm, K.
- Rogan, A. M.
1983
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