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Scientific reports, 2021-04, Vol.11 (1), p.7782-15, Article 7782
2021
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Optics and laser technology, 2019-04, Vol.111, p.100-109
2019
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Optik (Stuttgart), 2011-05, Vol.122 (10), p.868-871
2011
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PZT calibration
Optik (Stuttgart), 2013-09, Vol.124 (17), p.2803-2806
2013
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Measurement : journal of the International Measurement Confederation, 2008-12, Vol.41 (10), p.1100-1104
2008
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Optical engineering, 2011-10, Vol.50 (10), p.105601
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2017 9th International Conference on Electronics, Computers and Artificial Intelligence (ECAI), 2017, p.1-4
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Optical engineering, 2009-11, Vol.48 (11), p.115602
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Sensitivity -optimized scatterometry
2000
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Tools for testing
SPIE newsroom, 2003
2003
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Measurement science & technology, 1997-07, Vol.8 (7), p.738-745
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