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ECS transactions, 2013, Vol.52 (1), p.557-568
2013
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MRS proceedings, 2005, Vol.867, Article W2.8.1
2005
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Semiconductor International, 2004-11, Vol.27 (12), p.87
2004
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Measuring particles in CMP slurries
Semiconductor International, 2001-07, Vol.24 (8), p.201
2001
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