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Journal of Industrial and Engineering Chemistry, 2010, 16(5), , pp.723-727
2010
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Journal of industrial and engineering chemistry (Seoul, Korea), 2010-09, Vol.16 (5), p.723-727
2010
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Journal of industrial and engineering chemistry (Seoul, Korea), 2010, Vol.16 (5), p.723-727
2010
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 1999-09, Vol.17 (5), p.2197-2203
1999
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IEEE transactions on semiconductor manufacturing, 2023-02, Vol.36 (1), p.37-44
2023








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