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International Journal of Extreme Manufacturing, 2021-03, Vol.3 (1), p.12001
2021
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 2012-11, Vol.30 (6), p.6
2012
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Nanophotonics (Berlin, Germany), 2024-03, Vol.13 (7), p.1181-1189
2024
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Journal of vacuum science and technology. B, Nanotechnology & microelectronics, 2016-11, Vol.34 (6)
2016
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