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Low temperature chemical vapor deposition of tungsten carbide for copper diffusion barriers
Thin solid films, 2001-10, Vol.397 (1), p.109-115
2001
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Atomic layer deposition of TaSix thin films on SiO2 using TaF5 and Si2H6
Thin solid films, 2005-09, Vol.488 (1-2), p.9-14
2005
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Surface science investigations of atomic layer deposition half-reactions using TaF 5 and Si 2 H 6
Surface science, 2003-07, Vol.538 (3), p.191-203
2003
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Surface chemistry of TaCl 5 on polycrystalline Ta
Surface science, 2003, Vol.527 (1), p.124-136
2003
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Surface chemistry of TaCl5 on polycrystalline Ta
Surface science, 2003-03, Vol.527 (1-3), p.124-136
2003
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Atomic layer deposition of TaSi x thin films on SiO 2 using TaF 5 and Si 2H 6
Thin solid films, 2005, Vol.488 (1), p.9-14
2005
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Target confirmation architecture for a buried object scanning sonar
Oceans 2003. Celebrating the Past ... Teaming Toward the Future (IEEE Cat. No.03CH37492), 2003, Vol.1, p.512-520 Vol.1
2003
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