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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 2006-03, Vol.24 (2), p.721-724
2006
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 2006-09, Vol.24 (5), p.2312-2316
2006
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Jpn.J.Appl.Phys ,Part 1. Vol. 42, no. 11, pp. 6955-6959. 2003, 2003, Vol.42 (11), p.6955-6959
2003
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Journal of semiconductor technology and science, 2005, Vol.5 (1), p.45-51
2005
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