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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 2009-09, Vol.27 (5), p.2227-2231
2009
Volltextzugriff (PDF)

Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 2009-09, Vol.27 (5), p.2227-2231
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