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Journal of heat transfer, 2018-04, Vol.140 (4)
2018
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Journal of micro/nanolithography, MEMS, and MOEMS, 2008-04, Vol.7 (2), p.23002
2008
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Open Access
Resist effects at small pitches
Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 2006-01, Vol.24 (1), p.316-320
2006
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IEEE transactions on semiconductor manufacturing, 2005-02, Vol.18 (1), p.37-41
2005
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