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Guang xue, jing mi gong cheng, 2014-01, Vol.22 (2), p.346-350
2014
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Science China. Technological sciences, 2022-11, Vol.65 (11), p.2723-2733
2022
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Japanese Journal of Applied Physics, 1988-10, Vol.27 (10), p.1831-1840
1988
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Japanese Journal of Applied Physics, 1987-04, Vol.26 (4), p.582-587
1987
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Journal of micro/nanolithography, MEMS, and MOEMS, 2005-04, Vol.4 (2), p.23012
2005
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Nuclear instruments & methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms, 1989-02, Vol.37, p.321-324
1989
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