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2007
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Microelectronic engineering, 2007-09, Vol.84 (9-10), p.2165-2168
2007
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2000
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Acta Chirurgica Austriaca, 2000-05, Vol.32 (3), Article 130
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 2009-02, Vol.27 (1), p.286-289
2009
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 2009-01, Vol.27 (1), p.286-289
2009
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Microelectronic engineering, 2008, Vol.85 (8), p.1762-1765
2008
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Microelectronic engineering, 2008-08, Vol.85 (8), p.1762-1765
2008
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Microengineering of Metals and Ceramics, 2005, p.221-249
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Journal of applied physics, 2008-05, Vol.103 (10), p.104103-104103-5
2008
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Thin solid films, 2009, Vol.517 (23), p.6334-6336
2009
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Thin solid films, 2009-10, Vol.517 (23), p.6334-6336
2009
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2009
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