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Small (Weinheim an der Bergstrasse, Germany), 2014-09, Vol.10 (18), p.3767-3774
2014
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Japanese Journal of Applied Physics, 2012-06, Vol.51 (6), p.06FJ01-06FJ01-5
2012
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Sensors (Basel, Switzerland), 2008-01, Vol.8 (1), p.211-221
2008
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Japanese Journal of Applied Physics, 2013-10, Vol.52 (10), p.10MC09-10MC09-6
2013
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Journal of micromechanics and microengineering, 2015-05, Vol.25 (5), p.55004-7
2015
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Japanese Journal of Applied Physics, 2012-06, Vol.51 (6), p.06FJ02-06FJ02-5
2012
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Japanese Journal of Applied Physics, 2009-06, Vol.48 (6S), p.6
2009
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Applied surface science, 2008-05, Vol.254 (15), p.4793-4796
2008
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Microelectronic engineering, 2004-08, Vol.75 (2), p.165-171
2004
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