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Cybernetics and systems analysis, 2023-05, Vol.59 (3), p.428-438
2023
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Journal of physics. Conference series, 2021-12, Vol.2086 (1), p.12190
2021
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High energy chemistry, 2023-10, Vol.57 (Suppl 1), p.S115-S118
2023
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The Journal of chemical physics, 2015-01, Vol.142 (4), p.044103-044103
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Journal of physics. Conference series, 2021-04, Vol.1870 (1), p.12006
2021
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Urologii͡a︡ (Moscow, Russia : 1999), 2024-03 (1), p.162
2024
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Open Access
Atomic layer etching of Silicon Oxide
Journal of physics. Conference series, 2019-12, Vol.1410 (1), p.12023
2019
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Geomagnetism and Aeronomy, 2023-12, Vol.63 (7), p.1047-1053
2023
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