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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 1994-11, Vol.12 (6), p.3725-3730
1994
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 1994-11, Vol.12 (6), p.3884-3887
1994
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