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Highly selective Si3N4/SiO2 etching using an NF3/N2/O2/H2 remote plasma. I. Plasma source and critical fluxes
Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 2020-03, Vol.38 (2)
2020
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Highly selective Si3N4/SiO2 etching using an NF3/N2/O2/H2 remote plasma. II. Surface reaction mechanism
Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 2020-03, Vol.38 (2)
2020
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Role of NO in highly selective SiN/SiO2 and SiN/Si etching with NF3/O2 remote plasma: Experiment and simulation
Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 2017-11, Vol.35 (6)
2017
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Targeted Cancer Treatment Using Anti-EGFR and -TFR Antibody-Conjugated Gold Nanoparticles Stimulated by Nonthermal Air Plasma
Plasma medicine, 2011, Vol.1 (1), p.45-54
2011
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Highly selective Si 3 N 4 /SiO 2 etching using an NF 3 /N 2 /O 2 /H 2 remote plasma. II. Surface reaction mechanism
Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 2020-01, Vol.38 (2)
2020
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Highly selective Si 3 N 4 /SiO 2 etching using an NF 3 /N 2 /O 2 /H 2 remote plasma. I. Plasma source and critical fluxes
Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 2020-01, Vol.38 (2)
2020
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Targeted Cancer Treatment Using Anti-EGFR and -TFR Antibody-Conjugated Gold Nanoparticles Stimulated by Nonthermal Air Plasma
Plasma medicine, 2011, Vol.1 (2), p.179-188
2011
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