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Wet chemical etching of AlN
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Materials science & engineering. B, Solid-state materials for advanced technology, 1996-03, Vol.38 (1-2), p.138-146
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1995 Proceedings. 45th Electronic Components and Technology Conference, 1995, p.949-951
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Applied physics letters, 1995-05, Vol.66 (20), p.2616-2618
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1994
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IEEE photonics technology letters, 1994-09, Vol.6 (9), p.1053-1055
1994
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