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Applied Optics, 2015-05, Vol.54 (13), p.4161
2015
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Journal of vacuum science and technology. B, Nanotechnology & microelectronics, 2017-11, Vol.35 (6)
2017
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2014
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2016
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 2003-11, Vol.21 (6), p.2777-2782
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Japanese Journal of Applied Physics, 2007-02, Vol.46 (2R), p.627
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Japanese Journal of Applied Physics, 2004-04, Vol.43 (4A), p.L439
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Optical engineering, 2006-02, Vol.45 (2), p.23602
2006
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