Sie befinden Sich nicht im Netzwerk der Universität Paderborn. Der Zugriff auf elektronische Ressourcen ist gegebenenfalls nur via VPN oder Shibboleth (DFN-AAI) möglich. mehr Informationen...
Sortiert nach
    Datensatz exportieren als...
  • BibTeX
Effect of deposition temperature and surface reactions in atomic layer deposition of silicon oxide using Bis(diethylamino)silane and ozone
Applied surface science, 2022-01, Vol.571, p.151231, Article 151231
2022
Volltextzugriff (PDF)
Open Access
    Datensatz exportieren als...
  • BibTeX
Corrigendum to “Effect of deposition temperature and surface reactions in atomic layer deposition of silicon oxide using Bis(diethylamino)Silane and ozone”. [Appl. Surf. Sci. 571 (2022) 151231]
Applied surface science, 2024-07, Vol.662, p.159586, Article 159586
2024
Volltextzugriff (PDF)
    Datensatz exportieren als...
  • BibTeX
Chemisorption of silicon tetrachloride on silicon nitride: a density functional theory study
Physical chemistry chemical physics : PCCP, 2024-04, Vol.26 (15), p.11597-1163
2024
Volltextzugriff (PDF)
    Datensatz exportieren als...
  • BibTeX
Etching mechanism of amorphous hydrogenated silicon nitride by hydrogen fluoride
Applied surface science, 2024-05, Vol.654, p.159414, Article 159414
2024
Volltextzugriff (PDF)
    Datensatz exportieren als...
  • BibTeX
Surface reaction mechanism of atomic layer deposition of niobium oxide: In situ characterization and first-principle study
Applied surface science, 2023-04, Vol.615, p.156340, Article 156340
2023
Volltextzugriff (PDF)
    Datensatz exportieren als...
  • BibTeX
Density functional theory study on the selective capping of cobalt on copper interconnect
Applied surface science, 2022-05, Vol.585, p.152750, Article 152750
2022
Volltextzugriff (PDF)
    Datensatz exportieren als...
  • BibTeX
A theoretical study on the surface reaction of tetrakis(dimethylamino)titanium on titanium oxide
Physical chemistry chemical physics : PCCP, 2023-08, Vol.25 (33), p.22250-22257
2023
Volltextzugriff (PDF)
    Datensatz exportieren als...
  • BibTeX
Selective etching mechanism of silicon oxide against silicon by hydrogen fluoride: a density functional theory study
Physical chemistry chemical physics : PCCP, 2023-02, Vol.25 (5), p.389-3899
2023
Volltextzugriff (PDF)
    Datensatz exportieren als...
  • BibTeX
Gas-phase etching mechanism of silicon oxide by a mixture of hydrogen fluoride and ammonium fluoride: A density functional theory study
Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 2023-05, Vol.41 (3)
2023
Volltextzugriff (PDF)
    Datensatz exportieren als...
  • BibTeX
Chemisorption of tetrakis(dimethylamino)zirconium on zirconium oxide: Density functional theory study
Surfaces and interfaces, 2024-07, Vol.50, p.104480, Article 104480
2024
Volltextzugriff (PDF)
    Datensatz exportieren als...
  • BibTeX
Atomic layer deposition of titanium oxide thin films using a titanium precursor with a linked amido-cyclopentadienyl ligand
Journal of materials chemistry. C, Materials for optical and electronic devices, 2022-05, Vol.10 (17), p.6696-6709
2022
Volltextzugriff (PDF)
    Datensatz exportieren als...
  • BibTeX
Atomic layer deposition of silicon oxide films using bis(dimethylaminomethylsilyl)trimethylsilylamine and ozone: first-principles and experimental study
Journal of materials chemistry. C, Materials for optical and electronic devices, 2022-11, Vol.1 (45), p.17377-17385
2022
Volltextzugriff (PDF)
1 – 12 von 12
Suche als RSS-Feed
Suchergebnisse filtern
Filter anzeigen